高技術(shù)門檻下的全制程專利布局
截止2023年12月,奧趨光電圍繞氮化鋁晶圓制程已申請(qǐng)、授權(quán)60余份國內(nèi)外專利。專利布局涵蓋材料預(yù)處理、長晶工藝、長晶設(shè)備、晶圓切割、晶圓拋光、材料檢測(cè)與表征,以及高質(zhì)量氮化鋁模板制備等全套相關(guān)工藝。從而使中國成為繼美國、德國之后第三個(gè)具備大尺寸氮化鋁晶圓制造能力的國家,并處于全球技術(shù)領(lǐng)先地位。奧趨光電也隨之成為全球范圍內(nèi)本領(lǐng)域專利數(shù)量最多的企業(yè)之一。