開發(fā)了顛覆性、大批量制備高質(zhì)量氮化鋁薄膜模板專利技術(shù)
傳統(tǒng)硅基等半導(dǎo)體材料已經(jīng)無法滿足當(dāng)前電子器件的發(fā)展要求。氮化鋁作為第三代/第四代半導(dǎo)體材料的典型代表，具有超寬禁帶、高熱導(dǎo)率、高擊穿場強(qiáng)、高電子遷移率、耐腐蝕、耐輻射等優(yōu)越物理化學(xué)性能，特別適合于制造射頻通信器件、光電子器件、電力電子器件等，是紫外LED、紫外探測器、紫外激光、高功率/高頻電子器件等最佳襯底材料，廣泛應(yīng)用于環(huán)保、電子、無線通訊、印刷、生物、醫(yī)療、軍事等領(lǐng)域，如紫外凈化/滅菌（污水處理、飲用水消毒、空氣殺菌、表面殺菌、除臭等）、紫外固化、紫外催化、5G無線通信 SAW/BAW等器件、防偽檢測、高密度存儲、醫(yī)學(xué)光照治療、藥物研發(fā)及保密通信、紫外空間探測等領(lǐng)域。
奧趨光電利用自有開發(fā)的一系列獨(dú)有氮化鋁模板設(shè)備及工藝專利技術(shù)制備出具有世界領(lǐng)先水平的高質(zhì)量、大尺寸氮化鋁模板。奧趨光電開發(fā)的氮化鋁模板大批量制備工藝和設(shè)備具有穩(wěn)定性好、可重復(fù)性高等優(yōu)點(diǎn)，且其表征測試結(jié)果優(yōu)于歐美日等大部分競爭對手。目前，奧趨光電是全球首家具備大批量2英寸/4英寸氮化鋁模板制備能力的企業(yè)，2020年具備年產(chǎn)30萬片2英寸/4英寸高性能氮化鋁模板供應(yīng)能力，以滿足UVC-LED、紫外探測器、5G無線通信器件等市場的爆發(fā)性需求。